1. Il-pressjoni tax-xogħol tal-pompa tal-vakwu għandha tissodisfa r-rekwiżiti finali tal-vakwu u l-pressjoni tax-xogħol tat-tagħmir tal-vakwu. Pereżempju, jekk proċess ta 'tnixxif bil-vakwu jirrikjedi vakwu ta' ħidma ta '10 mmHg, il-grad tal-vakwu tal-pompa tal-vakwu magħżula għandu jkun ta' l-anqas 2 mmHg, preferibbilment sa 1 mmHg. Il-vakwu aħħari tal-pompa ġeneralment jintgħażel biex ikun nofs ordni ta 'kobor ogħla mill-vakwu tat-tagħmir tal-vakwu.
2. Agħżel b'mod korrett il-punt tax-xogħol tal-pompa tal-vakwu. Kull pompa għandha ċerta firxa ta 'pressjoni tax-xogħol, bħal: serje 2BV ċirku tal-ilma pompa tal-vakwu fil-firxa tal-pressjoni tax-xogħol 760mmHg ~ 25mmHg (pressjoni assoluta), f'tali firxa wiesgħa ta' pressjoni, il-veloċità tal-ippumpjar tal-pompa tinbidel bil-pressjoni (ara l-pompa għal bidliet dettaljati ) Il-kurva tal-prestazzjoni), il-firxa tal-pressjoni tax-xogħol stabbli tagħha hija ta '760 ~ 60mmHg. Għalhekk, il-punt tax-xogħol tal-pompa għandu jintgħażel f'din il-firxa, u m'għandux jitħalla jaħdem għal żmien twil f'25 ~ 30mmHg.
3. Taħt il-pressjoni tax-xogħol, il-pompa tal-vakwu għandha tkun kapaċi tneħħi l-gass kollu ġġenerat waqt il-proċess tat-tagħmir tal-vakwu.
4. Għaqqad sewwa l-pompi tal-vakwu. Peress li l-pompa bil-vakwu għandha ppumpjar selettiv, xi kultant pompa ma tistax tissodisfa r-rekwiżiti ta 'l-ippumpjar, u bosta pompi għandhom bżonn jiġu kkombinati biex jikkumplimentaw lil xulxin biex jissodisfaw ir-rekwiżiti ta' l-ippumpjar. Pereżempju, pompa ta 'sublimazzjoni tat-titanju għandha veloċità għolja ta' ppumpjar għall-idroġenu, iżda ma tistax tiġi ppumpjata, u pompa tal-joni sputter bi tliet poli (jew pompa tal-joni asimmetrika b'żewġ poli tal-katodu sputtering) għandha ċerta veloċità tal-ippumpjar għall-argon. Meta kkombinat, l-apparat tal-vakwu se jkollu vakwu aħjar. Barra minn hekk, xi pompi tal-vakwu ma jistgħux jaħdmu taħt pressjoni atmosferika, u għandhom bżonn vakwu minn qabel; xi pressjoni tal-ħruġ tal-pompa tal-vakwu hija inqas mill-pressjoni atmosferika, u l-pompa ta 'quddiem hija meħtieġa, għalhekk huwa meħtieġ li tgħaqqad il-pompi.
5. Rekwiżiti għat-tniġġis taż-żejt minn tagħmir tal-vakwu. Jekk it-tagħmir huwa strettament meħtieġ biex ikun ħieles miż-żejt, għandek tagħżel varjetà ta 'pompi ħielsa miż-żejt, bħal: pompa taċ-ċirku tal-ilma, pompa tal-assorbiment tal-passatur molekulari, pompa tal-joni sputter, cryopump, eċċ. Jekk ir-rekwiżiti mhumiex stretti, tista 'tagħżel li jkollok pompa taż-żejt, flimkien ma' xi miżuri ta 'tniġġis taż-żejt, bħal żieda ta' nases kesħin, baffles, nases taż-żejt, eċċ., tista 'wkoll tikseb rekwiżiti ta' vakwu nadif.
6. Tifhem il-kompożizzjoni tal-gass li għandu jiġi ppumpjat. Il-gass ma fih l-ebda fwar kondensabbli, l-ebda trab tal-partikuli u l-ebda korrużività. Meta tagħżel pompa tal-vakwu, trid tkun taf il-kompożizzjoni tal-gass u agħżel il-pompa xierqa għall-gass ippumpjat. Jekk il-gass fih fwar, partikulati, u gassijiet korrużivi, jikkunsidra li jinstalla apparat awżiljarju bħal kondensaturi, kolletturi tat-trab, eċċ fuq il-pajpijiet tad-dħul tal-pompa.
7. Kif taffettwa l-ambjent il-fwar taż-żejt skarikat mill-pompa tal-vakwu? Jekk l-ambjent ma jippermettix il-kontaminazzjoni, tista 'tagħżel pompa tal-vakwu ħielsa miż-żejt jew iċċarġja l-fwar taż-żejt għal barra.
8. Il-vibrazzjoni ġġenerata meta taħdem il-pompa tal-vakwu ma għandha l-ebda effett fuq il-proċess u l-ambjent. Jekk il-proċess ma jippermettix, agħżel pompa mingħajr vibrazzjoni jew ħu miżuri kontra l-vibrazzjoni.
9. Il-prezz, l-operazzjoni u l-ispiża tal-manutenzjoni tal-pompa tal-vakwu.
浙公网安备 33108202000606号